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750℃真空平板熱壓機（平板135×135~350×350mm,5T）
型號：
YLJ-HPV-7-XX
產(chǎn)品概述：
YLJ-VHP7 是一款真空平板熱壓機，專為晶圓鍵合、薄膜轉(zhuǎn)移和 LCP 層壓設(shè)計，加熱面積為 135 ×135mm~350×350mm。其最高工作溫度為 750 ℃，最大壓力為 20T~40T。
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基本參數(shù)


產(chǎn)品型號

·YLJ-VHP7-4

·YLJ-VHP7-12

電壓和功率

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 4.8KW

·AC 208 - 240 V, 50/60 Hz
·單相 15KW

加熱平板

（其他尺寸可定制）

·135×135mm

·平面度＜0.02mm（區(qū)域100×100mm）

·350×350mm

·平面度＜0.03mm(區(qū)域250×250mm)

2個平板最大距離

（可放樣品最大厚度）

·80mm

·200mm

腔體尺寸和容積

·670長×630寬×670高(mm)
·~ 282L

·670 L x 630 W x 719H (mm)
·~ 303 L

加熱平板承受最大壓力

·5T (750℃)

·5T（750℃）
真空平板熱壓機結(jié)構(gòu)

·2塊加熱平板最高工作溫度750℃，采用高溫合金制作

·加熱元件插入加熱板的中心，以實現(xiàn)快速加熱。

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫

·在加熱板的頂部和底部都安裝了水冷套管，以輔助散熱。進/出水管為外徑12mm聚氨酯管

圖片1.png 圖片2.png  
壓機

·壓缸形成40mm

·壓力顯示范圍：2.00-5000.00kg

·壓力控制范圍：50-5000Kg

·保壓時間：1-9999min

·設(shè)備有兩種工作模式：手動加壓和自動加壓。自動加壓模式下設(shè)備帶有恒壓功能：當壓力值達到目標值后，在保壓的過程中，設(shè)備持續(xù)補壓使壓力保持在設(shè)定值。

·恒壓精度：±3kg
溫度控制和壓力顯示

·2塊加熱板分別由2個溫控儀表獨立控溫，50段程序控溫，控溫精度±3℃

·溫度控制器具備 PID 自動校準功能、過熱保護以及斷熱電偶保護功能。

·最高工作溫度：750℃＜30分鐘，連續(xù)工作溫度700℃（惰性氣氛或真空環(huán)境下）

·最高加熱速率：5℃/min

·控制面板內(nèi)內(nèi)置了一款數(shù)字壓力計（控制器）。您可以設(shè)定所需的壓力值，這樣就能使電動液壓機到達壓力值時自動恒壓。

圖片3.png 
真空腔體

·電動液壓機和加熱板被放置在真空室內(nèi)部

·真空室由 SS304 不銹鋼制成

·安裝有一個真空密封門，直徑300mm,有一個直徑150mm的石英窗口，便于裝樣品和觀察

·所有真空密封均使用硅橡膠 O 型圈

·可選購安裝了一個數(shù)字真空計（10E-4Torr）測量真空腔室的真空度
可選

·可選購設(shè)備（需額外費用）

·需要一臺循環(huán)水冷機，用于對過熱的散熱板進行冷卻，以加快冷卻速度。

·可選購真空泵，機械泵抽真空度300mTorr，分子泵系統(tǒng)抽真空度10-4Torr

圖片4.png 圖片5.png 圖片6.png   
應(yīng)用注意

·此款熱壓機也可用于測量熱電發(fā)電機模塊（頂部受熱，底部冷卻）

圖片7.png 
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附件

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