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6源高真空蒸鍍儀（用于鈣鈦礦電池）
型號：
GSL-1800X-ZF6-PSC
產(chǎn)品概述：
GSL-1800X-ZF6 是一款高真空熱蒸發(fā)鍍膜機，專為鈣鈦礦太陽能電池的沉積而設計，例如Cu, Ag, PbI2, CsBr等材料。在高達 10-6Torr的高真空環(huán)境下，可同時蒸發(fā)兩種類型的源材料。這是一款適用于各種材料制備和改性的出色且經(jīng)濟高效的鍍膜設備。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
電源

· 電壓：AC380V 三相  50/60Hz

· 功率：8KW
真空腔體

· 不銹鋼（SS304）真空腔體：內徑 400mm×高度 450mm，表面處理為拋光

· 設有直徑100mm的觀察窗口

· 鉸鏈式門，便于樣品裝載

· 每個蒸發(fā)皿配備電動遮擋片

· 一個 ISO-100K 端口，用于與分子泵系統(tǒng)和閥連接
真空泵（可選）

· 260 L/s 分子泵系統(tǒng)

· 真空度: 5.0x10-6 Torr ( 抽真空40分鐘后 )

· 泄漏率: 5.0x10-7 Pa

· 真空接口: DN 100 ISO-K

· 需要一臺機械泵作為輔助泵，以初步達到＜ 1e-2 Torr的真空度水平

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蒸發(fā)源&樣品架

· 6個蒸發(fā)源

· 2個鎢舟的蒸發(fā)源（采用水冷電極），無溫控，最高溫度可達1500℃

· 4個電阻加熱蒸發(fā)源，溫控型，最高溫度700℃

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原位薄膜測厚儀（可選）

· 石英晶體振蕩原位測厚

· 厚度測量的精度為 1.0 埃

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控制單元

· 真空度、厚度和功率控制被整合到了一個控制箱中

· 控制單元與真空室相分離，便于移動
鍍膜儀在手套箱中（可選）

· 鍍膜儀可以放置在單體或雙體手套箱內，并通過滑動門進行操作

· 有關手套箱的更多詳細信息，請參見此處：VGB-6-II
循環(huán)水冷機

· 水冷：水流速> 16 L/min用于電極冷卻

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